МЕТОД І ЗАСІБ ВХІДНОГО КОНТРОЛЮ СТРУКТУРНО-ЧУТЛИВИХ ПАРАМЕТРІВ НЕКРИСТАЛІЧНИХ НАПІВПРОВІДНИКІВ

summary

ОСНОВНИЙ ЗМІСТ РОБОТИ

У вступі до дисертації обґрунтовано актуальність дослідження, сформульовано мету роботи та задачі дослідження. Дана характеристика наукової новизни та практичної цінності отриманих результатів. Показано зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами.

У першому розділі проведено аналіз існуючих методів і засобів вхідного контролю структурно-чутливих параметрів некристалічних напівпровідників, які широко використовуються при виробництві сучасних електронних приладів.

Показано, що для контролю структурно-чутливих параметрів некристалічних напівпровідників найбільш доцільним є використання безконтактного диференційно-термічного аналізу. Завдяки неруйнівному впливу на об’єкт контролю, високу точність та чутливість, а також можливість безперервного, безконтактного, експресного аналізу структурних параметрів некристалічних напівпровідників безконтактний диференційно-термічний аналіз максимально відповідає вимогам, які висуваються до технічних засобів контролю структурних параметрів некристалічних напівпровідників в технологічному процесі під час виробництва електронних приладів. Обрано напрямки подальших досліджень.

У другому розділі розроблено математичну модель термодинамічного процесу в некристалічних напівпровідниках, проведено математичний опис піків теплових ефектів, моделювання ДТА-кривої, розроблено математичну модель частотного вимірювального перетворювача, проведено дослідження динамічних процесів у вимірювальному каналі.

 Більшість термодинамічних процесів, що протікають при нагріванні речовини і реєструються за допомогою ДТА, складаються з сукупності паралельних і послідовних реакцій, в результаті накладання яких отримують криву, досить складну для аналізу. Одним з наслідків накладання реакцій є зсув температури пікових характеристик, який виступає одним із основних параметрів, що фіксується ДТА. Іншим наслідком є неможливість розрахунку кінетичних і термодинамічних пікових характеристик по ДТА-кривим. В основному для опису виступу використовують функції елементарних піків: Гауса, Коші. Застосування даних функцій для опису усіх пікових характеристик не коректно, оскільки в більшості випадків піки термодинамічних процесів далекі від симетричності.