РАДІОВИМІРЮВАЛЬНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ ВОЛОГОСТІ НА ОСНОВІ МДН-СТРУКТУР Автореферат

У вступі до дисертаційної роботи обґрунтовано її актуальність, визначено мету та задачі дослідження. Сформульована наукова новизна та практична цінність отриманих результатів, а також показано зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами.

У першому розділі розглянуто властивості атмосферної вологи та проаналізовано її вплив на протікання технологічних операцій в системах з контрольованим складом газів. На даному етапі розвитку промисловості одним з пріоритетних напрямків підвищення якості продукції є розробка та створення нових комплексів устаткування та інформаційно-вимірювальних систем і систем автоматизації, що враховують всі важливі параметри, які суттєво можуть впливати на проведення технологічних операцій, тому підвищення чутливості вимірювання вологості повітря чистих кімнат (ЧК) є перспективним науковим напрямом.

Проведено аналіз розповсюджених в промисловості типів первинних перетворювачів вологості, наведено їх систематизацію. Сучасні дослідження хімічних та електрофізичних характеристик плівок аморфних напівпровідників та діелектриків (кремнію і його окису) дозволяють виготовлення на їх основі первинних, як ємнісних, так і транзисторних перетворювачів різних хімічних сполук за інтегральною технологію, які відрізняються високою точністю та чутливістю до вимірюваної величини, хімічною та механічною стійкістю до впливу факторів оточуючого середовища.

При розгляді можливих схем реалізації вторинних перетворювачів інформації зроблено висновок про те, що перспективним науковим напрямком є розробка перетворювачів вологості, які працюють за принципом перетворення ,,вологість газу – частота інформаційного сигналу” на основі чутливих транзисторних структур з від’ємним диференційним опором, що володіють високою точністю і чутливістю вимірювання, частотний інформативний сигнал має високу завадостійкість. При цьому усувається необхідність використання підсилювачів аналогового сигналу, які викристовуються в схемах параметричних пертворювачів інформації, при цьому точність вимірювання частоти обмежується стабільністю еталонного кварцевого генератора.

У другому розділі розроблено математичну модель первинного перетворювача вологості повітря чистих кімнат на основі двозатворного МДН-транзистора з чутливим шаром пористого окису кремнію в якості підзатворного діелектрика.