МЕТОДИ ТА КОМПОНЕНТИ КОМП’ЮТЕРНОЇ СИСТЕМИ АВТОМАТИЧНОГО КОНТРОЛЮ РЕЗИСТИВНИХ ПАРАМЕТРІВ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ СИСТЕМ

summary

Основний зміст роботи

         У вступі обґрунтовано актуальність теми дисертаційної роботи, сформульовану мету і завдання роботи, наукову новизну та практичну цінність отриманих результатів, показано зв’язок роботи з науковими програмами, планами та темами. Наведені дані про впровадження результатів роботи, її апробацію, публікації та особистий внесок здобувача.

         У першому розділі здійснено огляд існуючих методів, моделей та засобів визначення величини електричного опору резистивних параметрів.

         Врезультаті проведеного аналізу існуючих методів, моделей та засобів визначення величини електричного опору резистивних параметрів обґрунтовано використання схеми одинарного електричного моста для контролю резистивних параметрів, величина електричного опору яких коливається в межах від сотень Ом до 10¹² Ом, та схеми подвійного електричного моста для діапазону величин електричного опору від 10^-7 Ом до 100 Ом.

Можливість простої та надійної реалізації механізму автоматизації процесу встановлення величини електричного опору досліджуваних резистивних параметрів шляхом введення додаткових елементів управління також є однією з прерогатив у виборі саме мостових методів для розв’язання поставленої задачі автоматизації контролю резистивних параметрів в МЕМС на противагу усім іншим розглянутим методам та засобам.

         У другому розділі розроблено метод автоматичного визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, який ґрунтується на розроблених моделях та алгоритмі збалансування мостової схеми, і дає змогу повністю автоматизувати процес встановлення точного значення величини електричного опору резистивних параметрів в МЕМС, а також запропоновано алгоритм оптимізації розробленого методу.

         Розроблений метод автоматичного визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС включає:

1.                алгоритм автоматизації процесу визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, який ґрунтується на покроковому збалансуванні мостової схеми з метою досягнення стану її рівноваги, і дає змогу визначити вихідні параметри в автоматичному режимі;

2.                структурну модель автоматичного визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, що виступає в якості однієї з форм представлення досліджуваного процесу;

3.                модель аналізу динаміки процесу автоматичного визначення величини електричного опору резистивних параметрів МЕМС, побудовану на основі кольорових мереж Петрі, що дає змогу відслідковувати й аналізувати цілісну картину поведінки ядра системи, а також динаміки самого досліджуваного процесу.