catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл:
- title:
- Фадеев Алексей Владимирович. Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
- university:
- Физико-технологический институт РАН
- The year of defence:
- 2014
- brief description:
- Фадеев Алексей Владимирович. Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Фадеев Алексей Владимирович;[Место защиты: Физико-технологический институт РАН].- Москва, 2014.- 106 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб