catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл:
- title:
- Мануйлов, Вадим Викторович. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения
- university:
- НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина
- The year of defence:
- 1991
- brief description:
- Мануйлов, Вадим Викторович. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина.- Москва, 1991.- 21 с.: ил. РГБ ОД, 9 91-5/3058-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб