catalog / TECHNICAL SCIENCES / Optical and optoelectronic devices and complexes
скачать файл:
- title:
- Никулина Екатерина Алексеевна. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем
- university:
- Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
- The year of defence:
- 2016
- brief description:
- Никулина Екатерина Алексеевна. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.11.07 / Никулина Екатерина Алексеевна;[Место защиты: Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2016.- 129 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб