Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа

catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q




  • скачать файл:
  • title:
  • Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа
  • The number of pages:
  • 200
  • university:
  • НИИ точного машиностроения
  • The year of defence:
  • 1996
  • brief description:
  • Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения.- Москва, 1996.- 25 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-3/4051-1
  • bibliography:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


SEARCH READY THESIS OR ARTICLE




Доставка любой диссертации из России и Украины


THE LAST THESIS

Медицинские музеи России: становление и место в музейном мире: XVIII - первая треть XX в. Кузыбаева, Мария Павловна
Метод погружения как актуальный метод построения музейной экспозиции Чуклина, Татьяна Изосимовна
Музейный парк как форма презентации археологического наследия Дробышев, Андрей Николаевич
Православные монастыри как памятники культурного наследия: историко-культурологический анализ: на материалах Республики Бурятия Апанасенко, Светлана Сергеевна
Музеи северо-восточного Казахстана в XIX−начале XXI вв. Кожокар Виталий Александрович

THE LAST ARTICLES AND ABSTRACTS

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА