Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Приборы и методы контроля и определения состава веществ
скачать файл:
- Название:
- Карташов Дмитрий Александрович. Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники
- ВУЗ:
- Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
- Краткое описание:
- Карташов Дмитрий Александрович. Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники: диссертация ... кандидата технических наук: 05.11.13 / Карташов Дмитрий Александрович;[Место защиты: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»].- Москва, 2014.- 128 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб