Рудык Николай Николаевич Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов сенсоров газа

Краткое описание

Рудык Николай Николаевич Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов сенсоров газа
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Рудык Николай Николаевич
Введение

Глава 1. ФОРМИРОВАНИЕ ОРИЕНТИРОВАННЫХ МАССИВОВ УНТ ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ СЕНСОРОВ ГАЗА

1.1 Применение углеродных нанотрубок в газовой сенсорике

1.1.1 Сорбционные газовые сенсоры на основе углеродных нанотрубок

1.1.2 Ионизационные газовые сенсоры

1.1.3 Мультисенсорные газочувствительные системы на основе углеродных нанотрубок

1.2 Свойства углеродных нанотрубок

1.3 Методы получения углеродных нанотрубок

1.3.1 Плазмохимическое осаждение из газовой фазы

1.4 Анализ технологических параметров, влияющих на рост методом ПХОГФ

1.4.1 Влияние материалов подслоя и катализатора на рост углеродных нанотрубок

1.4.2 Влияние толщины катализатора на образование каталитических центров и рост углеродных нанотрубок

1.4.3 Влияние типа источника плазмы

1.4.4 Влияние температуры роста на параметры углеродных нанотрубок

1.5 Выводы по главе

Глава 2. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ В СТРУКТУРАХ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ УНТ

2.1 Реакции на этапе нагрева

2.1.1 Структура с подслоем титана

2.1.2 Структура с подслоем вольфрама

2.1.3 Структура с подслоем нитрида титана

2.1.4 Структура с подслоем хрома

2.2 Реакции на этапе активации

2.2.1 Структура с подслоем титана

2.2.2 Структура с подслоем вольфрама

2.2.3 Структура с подслоем нитрида титана

2.2.4 Структура с подслоем хрома

2.3 Реакции на этапе роста

2.3.1 Структура с подслоем титана

2.3.2 Структура с подслоем вольфрама

2.3.3 Структура с подслоем нитрида титана

2.3.4 Структура с подслоем хрома

2.4 Сравнительный анализ

2.5 Выводы по главе

Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЖИМОВ ФОРМИРОВАНИЯ УНТ МЕДОТОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

3.1 Оборудование и методика экспериментальных исследований

3.2 Влияние потока аммиака на рост углеродных нанотрубок

3.3 Влияние режимов роста на параметры углеродных нанотрубок

3.3.1 Влияние толщины пленки катализатора и температуры роста на высоту углеродных нанотрубок

3.3.2 Влияние толщины пленки катализатора и температуры роста на диаметр углеродных нанотрубок

3.4 Влияние режимов роста на параметры массивов углеродных нанотрубок

3.5 Исследование дефектности структур методом Рамановской спектроскопии

124

3.6 Исследование дефектности структур методом Рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии

3.7 Выводы по главе

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ СЕНСОРОВ ГАЗА НА ОСНОВЕ МАССИВОВ УНТ

4.1 Разработка чувствительных элементов сенсоров газа на основе массивов углеродных нанотрубок

4.2 Экспериментальные исследования чувствительных элементов сенсоров газа

163

4.3 Выводы по главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ИСТОЧНИКОВ

ПРИЛОЖЕНИЕ