Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Залкинд Яков Григорьевич. Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники
- Краткое описание:
- Залкинд Яков Григорьевич. Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 131 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/2109
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб