Карами, Юсеф. Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Санкт-Петербург
Год защиты:
2000
Краткое описание:
Карами, Юсеф. Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Санкт-Петербург, 2000.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-2/513-9