Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
скачать файл:
- Название:
- Коваленко Владислав Борисович. Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии
- Краткое описание:
- Коваленко Владислав Борисович. Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18.- Воронеж, 2001.- 233 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/400-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб