Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл:
- Назва:
- Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии
- ВНЗ:
- Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых материалов РАН
- Короткий опис:
- Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Князев Максим Александрович; [Место защиты: Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2007.- 120 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб