Баринов Илья Николаевич. Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике"
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Пенза
Рік захисту:
2005
Короткий опис:
Баринов Илья Николаевич. Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике" : Дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 Пенза, 2005 210 с. РГБ ОД, 61:06-5/3522