catalog / Physics and mathematics / Semiconductor physics
скачать файл: 
- title:
- Александров Олег Викторович. Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния
- university:
- Санкт-Петербург
- The year of defence:
- 2003
- brief description:
- Александров Олег Викторович. Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10.- Санкт-Петербург, 2003.- 322 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-1/144-6
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб