catalog / TECHNICAL SCIENCES / electronics
скачать файл:
- title:
- Белоусов, Вячеслав Михайлович. Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники
- university:
- Моск. гос. ин-т электроники и математики
- The year of defence:
- 1996
- brief description:
- Белоусов, Вячеслав Михайлович. Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. гос. ин-т электроники и математики.- Москва, 1996.- 24 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-3/1953-1
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб