catalog / Physics and mathematics / Semiconductor physics
скачать файл: 
- title:
- Борун, Александр Феликсович. Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота
- university:
- Моск. ин-т электронной техники
- The year of defence:
- 1995
- brief description:
- Борун, Александр Феликсович. Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1995.- 30 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-3/2642-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб