catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл: 
- title:
- Чуканов, Сергей Владимирович. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня
- The year of defence:
- 1998
- brief description:
- Чуканов, Сергей Владимирович. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 1998.- 24 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб