Дронова Дарья Алексеевна. Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии

brief description

Дронова Дарья Алексеевна. Комплекс методик анализа профильного распределения химического состава по глубине нанообъектов и тонких пленок методами оже-спектроскопии и времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»], 2023