catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Дудников Анатолий Сергеевич. Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм
- The year of defence:
- 2002
- brief description:
- Дудников Анатолий Сергеевич. Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 113 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2457-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб