catalog / Physics and mathematics / physics
скачать файл: 
- title:
- Дворецкая Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур
- university:
- ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук
- The year of defence:
- 2021
- brief description:
- Дворецкая Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур;[Место защиты: ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб