catalog / Physics and mathematics / plasma Physics
скачать файл: 
- title:
- Дворкин Владимир Владимирович. Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией СВЧ разрядом при средних давлениях
- The year of defence:
- 2004
- brief description:
- Дворкин Владимир Владимирович. Исследование физических процессов, определяющих возможность масштабирования реакторов газофазного осаждения с активацией СВЧ разрядом при средних давлениях : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 : Москва, 2004 133 c. РГБ ОД, 61:05-1/86
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб