catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл: 
- title:
- Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах
- The year of defence:
- 1998
- brief description:
- Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06.- Москва, 1998.- 407 с.: ил. РГБ ОД, 71 99-5/528-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб