catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Феклисова, Ольга Владимировна. Взаимодействие точечных и протяженных дефектов в кремнии при низкотемпературных обработках
- university:
- Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
- The year of defence:
- 1998
- brief description:
- Феклисова, Ольга Владимировна. Взаимодействие точечных и протяженных дефектов в кремнии при низкотемпературных обработках : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.- Черноголовка, 1998.- 20 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-6/3393-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб