Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги Шевелев Алексей Эдуардович

brief description

Шевелев, Алексей Эдуардович.
Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.20 / Шевелев Алексей Эдуардович; [Место защиты: Нац. исслед. Том. политехн. ун-т]. - Томск, 2019. - 158 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Шевелев Алексей Эдуардович
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I СОСТОЯНИЕ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО ФОРМИРОВАНИЮ ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫХ ПУЧКОВ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ И ИХ ПРАКТИЧЕСКОМУ ПРИМЕНЕНИЮ
1.1. Особенности формирования плазмы вакуумно-дуговым разрядом
1.2. Методы и оборудование для очистки потока вакуумно-дуговой плазмы от макрочастиц
1.3. Формирование сильноточных пучков ионов металлов и газов
1.4. Закономерности плазменно-иммерсионного формирования ионных потоков
1.5. Методы ионной имплантации с использованием сильноточных ионных пучков
Выводы
ГЛАВА II ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ И ТРАНСПОРТИРОВКИ ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫХ ПУЧКОВ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ НИЗКОЙ ЭНЕРГИИ
2.1. Принципы плазменно-иммерсионного формирования высокоинтенсивных пучков ионов
2.2. Экспериментальная установка и система формирования высокоинтенсивных пучков ионов с использованием плазмы вакуумно-дугового разряда
2.3. Исследование закономерностей уменьшения микрокапельной фракции плазмы вакуумной дуги
2.4. Закономерности формирования и транспортировки высокоинтенсивных пучков ионов низкой энергии в условиях компенсации их пространственного заряда электронами вакуумно-дуговой плазмы
2.5. Влияние давления остаточного газа на эффективность транспортировки коротко-импульсных и длинно-импульсных высокоинтенсивных пучков ионов низкой энергии
2.6. Обсуждение закономерностей и особенностей транспортировки высокоинтенсивных пучков ионов металлов
Выводы
ГЛАВА III ДИНАМИКА ФОКУСИРОВКИ ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫХ ПУЧКОВ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ
3.1. Закономерности изменения интегрального распределения плотности ионного тока по сечению баллистически фокусируемого пучка ионов низкой энергии
3.2. Исследование динамических эффектов изменения плотности ионного тока высокоинтенсивного коротко-импульсного пучка ионов алюминия низкой энергии
3.3. Влияние давления остаточного газа на распределение плотности ионного тока высокоинтенсивных пучков ионов металлов и динамику их фокусировки
3.4. Анализ и обсуждение закономерностей баллистической фокусировки высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии
Выводы
ГЛАВА IV ИССЛЕДОВАНИЕ ВЫСОКОИНТЕНСИВНОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПУЧКОВ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ НИЗКОЙ ЭНЕРГИИ
4.1. Формирование глубоко легированных слоев материалов при высокоинтенсивной имплантации пучков ионов металлов
4.2. Изменение морфологии поверхности и микроструктуры титана, никеля, циркония в процессе высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии
4.3. Изучение фазовой композиции интерметаллидных систем ^-А^ и М^ различной стехиометрии сформированных в процессе высокоинтенсивной имплантации ионов металлов
4.4. Исследование структурно-фазовой и элементной композиции интерметаллидной системы ^-М методом просвечивающей электронной микроскопии
4.5. Измерение механических и эксплуатационных характеристик образцов имплантированных низкоэнергетичными ионами металлов на примере системы 7г-Т1
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
142