Герасимов Владимир Александрович. Физико-химические закономерности модифицирования примесно-дефектного состава кремния в структурах кремний на сапфире

brief description

Герасимов Владимир Александрович. Физико-химические закономерности модифицирования примесно-дефектного состава кремния в структурах кремний на сапфире
: диссертация ... кандидата технических наук: 02.00.04 / Герасимов Владимир Александрович;[Место защиты: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им.Р.Е.Алексеева"].- Нижний, 2015.- 100 с.