Голод Сергей Владиславович. Методы формирования трёхмерных микро- и наноструктур на основе напряжённых SiGe/Si плёнок
The number of pages:
200
university:
Новосибирск
The year of defence:
2006
brief description:
Голод Сергей Владиславович. Методы формирования трёхмерных микро- и наноструктур на основе напряжённых SiGe/Si плёнок : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 Новосибирск, 2006 206 с. РГБ ОД, 61:07-1/398