catalog / Physics and mathematics / Condensed Matter Physics
скачать файл:
- title:
- Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления
- university:
- ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
- The year of defence:
- 2021
- brief description:
- Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления;[Место защиты: ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб