catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл:
- title:
- Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии
- university:
- Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
- The year of defence:
- 2015
- brief description:
- Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Харламов Николай Александрович;[Место защиты: Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"].- Москва, 2015.- 141 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб