Исследование механизмов формирования магнетронных наноразмерных пленок из алюминия на поверхности ситалла Лин Ко Ко

brief description

Лин Ко Ко.
Исследование механизмов формирования магнетронных наноразмерных пленок из алюминия на поверхности ситалла : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Лин Ко Ко; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Юго-Западный государственный университет»]. - Курск, 2020. - 100 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Лин Ко Ко
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И ОБОЗНАЧЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. КЛАССИФИКАЦИЯ И ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ МАГНЕТР-ОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
1.1 Методы формирования пленок
1.2 Особенности магнетронного распыления
1.2.1 Процесс эмиссии
1.2.2 Процесс роста кластеров
1.3 Осаждение кластеров
1.4 Рост пленки
1.5 Применение тонких металлических пленок
Выводы по 1 главе
ГЛАВА 2. ОБРАЗЦЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
2.1 Экспериментальное оборудование
2.2 Методика получения образцов
2.3 Наноаналитическое оборудование, использовавшееся при характеризации магнетронных пленок
Выводы по 2 главе
ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
3.1 Исследование магнетронных пленок методом атомно-силовой микроскопии
Выводы по 3 главе
ГЛАВА 4. ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
4.1 Моделирование в рамках теории функционала плотности
4.2 Моделирование структуры кластеров
4.3 Расчет поверхностной энергии монокристалла алюминия
4.4 Расчет адгезии кластеров алюминия к поверхности монокристалла
4.5 Рост пленки алюминия на поверхности ситалла
2
4.5.1 Методика моделирования роста пленки алюминия на ситалле
4.5.2 Начальный этап образования пленки
4.5.3 Дальнейший рост пленки
Выводы по 4 главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ