Исследование высокочастотного емкостного разряда низкого давления в инертном газе Орлов, Константин Евгеньевич

brief description

Орлов, Константин Евгеньевич.
Исследование высокочастотного емкостного разряда низкого давления в инертном газе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08. - Санкт-Петербург, 1998. - 125 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Орлов, Константин Евгеньевич
1. ВВЕДЕНИЕ.
2. ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ЗАРЯДА В ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ЕМКОСТНЫХ РАЗРЯДАХ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ).
2.1. Классификация высокочастотных разрядов.
2.2. Перенос гоков и причины возникновения слоев пространственного заряда в ВЧЕ разрядах.
2.3. Эквивалентная схема разряда.
2.4. Динамика приэлектродного слоя пространственного заряда.
2.5. Особенности формирования ВЧ разряда при нелокальном нагреве электронов.
2.6. Исследования гамма-электронов в ВЧ разрядах низкого давления
2.7. Выводы из обзора литературы и постановка задачи.
3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ СПЕКТРОВ ВТОРИЧНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ.
3.1. Разрядная камера и система поддержания ВЧЕ разряда.
3.2. Модулятор и анализатор энергии электронов.
3.3. Синхронизация сигналов при измерениях с временным разрешением.
3.4. Времяпролетные характеристики модулятора электронов.
3.5. Связь функции пропускания модулятора и экспериментального спектра.
4. КИНЕТИКА ГАММА-ЭЛЕКТРОНОВ В ВЧЕ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ.
4.1. Измерения с временным разрешением спектров электронов, бомбардирующих электрод в ВЧЕ разряде.
4.2. Ускорение гамма-электронов в слое пространственного заряда.
4.3. Восстановление формы напряжения на слое пространственного заряда.
4.4. Фокусировка электронов при пролете разрядного промежутка.
4.5. Формирование пиков на функции распределения гамма-электронов
4.6. Выводы.
5. РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ СЛОЕВ И ПЛАЗМЫ ВЧЕ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ.
5.1. Основные предположения модели.
5.2. Поток ионов из плазмы разряда.
5.3. Электроны в плазме и ионизация в разряде низкого давления.
5.4. Электронная кинетика.
5.5. Учет стохастического нагрева электронов.
5.6. Асимптотические решения и скейлинги.
5.7. Результаты расчетов.
5.8. Выводы.