catalog / TECHNICAL SCIENCES / Radio engineering devices and means of telecommunications
скачать файл: 
- title:
- Истомина, Наталья Леонидовна. Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии
- university:
- Моск. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского
- The year of defence:
- 1995
- brief description:
- Истомина, Наталья Леонидовна. Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Моск. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского.- Москва, 1995.- 15 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-4/2627-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб