catalog / Physics and mathematics / Nuclear physics, elementary particles and high energy
скачать файл: 
- title:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм
- university:
- ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
- The year of defence:
- 2021
- brief description:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб