catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Изюмов Михаил Олегович. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- The year of defence:
- 2001
- brief description:
- Изюмов Михаил Олегович. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Ярославль, 2001.- 159 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/162-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб