catalog / TECHNICAL SCIENCES / Machines, units and technological processes
скачать файл: 
- title:
- Каблуков Андрей Леонидович. Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра
- The year of defence:
- 2003
- brief description:
- Каблуков Андрей Леонидович. Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : Дис. ... канд. техн. наук : 05.02.13 : Москва, 2003 157 c. РГБ ОД, 61:04-5/1780
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб