Кагадей, Валерий Алексеевич. Кратковременно ускоренное испарение примесей из ионно-легированных слоев кремния
The number of pages:
200
university:
Томск
The year of defence:
1994
brief description:
Кагадей, Валерий Алексеевич. Кратковременно ускоренное испарение примесей из ионно-легированных слоев кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Томск, 1994.- 21 с.: ил.