Карами, Юсеф. Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана
The number of pages:
200
university:
Санкт-Петербург
The year of defence:
2000
brief description:
Карами, Юсеф. Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Санкт-Петербург, 2000.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-2/513-9