catalog / TECHNICAL SCIENCES / Instrum-s and meth-s of monit-g and deter-g the composition of subst-s
скачать файл: 
- title:
- Карташов Дмитрий Александрович. Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники
- university:
- Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
- The year of defence:
- 2014
- brief description:
- Карташов Дмитрий Александрович. Методы экспрессной обработки результатов относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии для контроля многослойных структур микро- и наноэлектроники: диссертация ... кандидата технических наук: 05.11.13 / Карташов Дмитрий Александрович;[Место защиты: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»].- Москва, 2014.- 128 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб