Кибалов, Дмитрий Станиславович. Метод фотоэдс в РЭМ и его применение для диагностики кремниевых структур
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
1992
brief description:
Кибалов, Дмитрий Станиславович. Метод фотоэдс в РЭМ и его применение для диагностики кремниевых структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 1992.- 24 с.: ил.