catalog / TECHNICAL SCIENCES / Automation and control of technological processes and production
скачать файл: 
- title:
- Клебанова, Ирина Валентиновна. Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния
- university:
- Моск. авиацион. ин-т.- Москва
- The year of defence:
- 1994
- brief description:
- Клебанова, Ирина Валентиновна. Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Моск. авиацион. ин-т.- Москва, 1994.- 13 с.: ил. РГБ ОД, 9 94-2/3255-1
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб