catalog / TECHNICAL SCIENCES / Technology, equipment and production of electronic equipment
скачать файл:
- title:
- Копейкин Андрей Николаевич. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники
- The year of defence:
- 2003
- brief description:
- Копейкин Андрей Николаевич. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2003 227 c. РГБ ОД, 61:04-5/1383
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб