catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Королев, Алексей Николаевич. Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения
- The year of defence:
- 1998
- brief description:
- Королев, Алексей Николаевич. Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01.- Таганрог, 1998.- 169 с.: ил. РГБ ОД, 71 00-5/158-6
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб