catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Коровкина Наталья Михайловна. Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники
- university:
- Санкт-Петербург
- The year of defence:
- 2006
- brief description:
- Коровкина Наталья Михайловна. Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Санкт-Петербург, 2006.- 140 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/1070
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб