catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
- The year of defence:
- 1997
- brief description:
- Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01.- Москва, 1997.- 279 с.: ил. РГБ ОД, 71 97-5/753-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб