Лихарев, Сергей Константинович. Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов
The number of pages:
200
university:
Москва
The year of defence:
1990
brief description:
Лихарев, Сергей Константинович. Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 1990.- 15 с.: ил.