Максина, Татьяна Яковлевна. Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей
The number of pages:
200
university:
Киев
The year of defence:
1990
brief description:
Максина, Татьяна Яковлевна. Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Киев, 1990.- 18 с.: ил.