catalog / CHEMICAL SCIENCES / Solid State Chemistry
скачать файл: 
- title:
- Маркеев Андрей Михайлович. Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур
- university:
- ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)»
- The year of defence:
- 2021
- brief description:
- Маркеев Андрей Михайлович. Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)»], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб