catalog / TECHNICAL SCIENCES / Instrum-s and meth-s of monit-g and deter-g the composition of subst-s
скачать файл: 
- title:
- Мухамедханов, Улугбек Тургудович. Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем
- university:
- Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
- The year of defence:
- 1989
- brief description:
- Мухамедханов, Улугбек Тургудович. Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни.- Ташкент, 1989.- 22 с.: ил. РГБ ОД, 9 90-2/2432-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб