catalog / TECHNICAL SCIENCES / Solid-state electronics, radio electronic components, micro- and nanoelectronics, devices based on q
скачать файл: 
- title:
- Мяконьких Андрей Валерьевич. Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики
- university:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- The year of defence:
- 2009
- brief description:
- Мяконьких Андрей Валерьевич. Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Мяконьких Андрей Валерьевич; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2009.- 125 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/36
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб