Одиноков, Вадим Васильевич. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС

catalog / TECHNICAL SCIENCES / Automation and control of technological processes and production




  • скачать файл:
  • title:
  • Одиноков, Вадим Васильевич. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС
  • The number of pages:
  • 200
  • university:
  • Москва
  • The year of defence:
  • 1995
  • brief description:
  • Одиноков, Вадим Васильевич. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.13.07.- Москва, 1995.- 35 с.: ил.
  • bibliography:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


SEARCH READY THESIS OR ARTICLE




Доставка любой диссертации из России и Украины


THE LAST THESIS

Высокодобротные кристаллические микрорезонаторы с модами «шепчущей галереи» для ИК-фотоники Шитиков Артем Евгеньевич
Методы и аппаратура для визуализации и контроля поверхности горения высокоэнергетических материалов на основе нанопорошков металлов в режиме реального времени Губарев Федор Александрович
Методы измерения характеристик запаздывающих нейтронов и верификации ядерно-физических данных Гремячкин Дмитрий Евгеньевич
Разработка и создание трековых систем большой площади для мюонного спектрометра эксперимента ATLAS на Большом адронном коллайдере Гонгадзе Алекси
Анализ пограничного слоя течений жидкости на основе высокоскоростной термографии Шагиянова Анастасия Михайловна

THE LAST ARTICLES AND ABSTRACTS

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА